PRODUCT
—— 产品中心 ——
硼磷硅玻璃材料
产品描述
参数
BPSG材料是有机磷、硼化合物，包括：
TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO
性质：均为无色有刺激性气味的液体。
应用：用于晶圆制造过程中与TEOS混合，通过CVD工艺沉积:PSG（磷玻璃）及BPSG（硼磷硅玻璃）。
扫二维码用手机看
上一个
电子级三甲基铝(TMA)
下一个
正硅酸四乙酯(TEOS)
