PRODUCT
—— 产品中心 ——
电子级三甲基铝(TMA)
一、分子式：Al(CH3)3
二、分子量：72.09
三、理化性质：
无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.752g/mL。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。
四、用途:
在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O3钝化膜；在半导体制造，用于沉积High-k材料介质薄膜，如Al2O3；同时，TMA还是有机金属化学气相沉积法（MOCVD）制造含铝半导体（如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等）中有机金属的重要来源。
五、质量指标：
|
分析项目 |
技术指标 |
分析项目 |
技术指标 |
||
|
5N |
6N |
5N |
6N |
||
|
银（Ag），max |
0.4 ppm |
10 ppb |
锂（Li），max |
0.1 ppm |
5 ppb |
|
砷（As），max |
0.5 ppm |
10 ppb |
镁（Mg），max |
0.05 ppm |
10 ppb |
|
硼（B），max |
0.4 ppm |
10 ppb |
锰（Mn），max |
0.05 ppm |
10 ppb |
|
钡（Ba），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
钠（Na），max |
0.5 ppm |
20 ppb |
|
铍（Be），max |
0.2 ppm |
5 ppb |
镍（Ni），max |
0.4 ppm |
20 ppb |
|
铋（Bi），max |
0.2 ppm |
5 ppb |
铅（Pb），max |
1 ppm |
10 ppb |
|
钙（Ca），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
硒（Se），max |
1 ppm |
10 ppb |
|
镉（Cd），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
硅（Si），max |
1 ppm |
20 ppb |
|
钴（Co），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
锡（Sn），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
|
铬（Cr），max |
0.1 ppm |
20 ppb |
碲（Te），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
|
铜（Cu），max |
0.15 ppm |
20 ppb |
钛（Ti），max |
0.1 ppm |
50 ppb |
|
铁（Fe），max |
0.1 ppm |
50 ppb |
钒（V），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
|
镓（Ga），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
锌（Zn），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
|
锗（Ge），max |
0.1 ppm |
50 ppb |
锆（Zr），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
|
汞（Hg），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
有效期 |
36个月 |
36个月 |
|
钾（K），max |
1 ppm |
10 ppb |
/ |
||
六、包装：
罐子： 材质：不锈钢316L ，罐内电解抛光。阀门类型：四分之一英寸隔膜阀。
阀门：主体材料：不锈钢316L。连接尺寸：四分之一英寸VCR。
规格：14.2kg、72kg、300kg等
