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电子级三甲基铝(TMA)

产品描述
参数

一、分子式:Al(CH3)3            

二、分子量:72.09

三、理化性质:

无色透明液体,熔点15℃,沸点127℃,密度0.752g/mL。在空气中瞬间就能着火自燃,与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。

四、用途:

在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O3钝化膜;在半导体制造,用于沉积High-k材料介质薄膜,如Al2O3;同时,TMA还是有机金属化学气相沉积法(MOCVD)制造含铝半导体(如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等)中有机金属的重要来源。

五、质量指标:

分析项目

技术指标

分析项目

技术指标

5N

6N

5N

6N

银(Ag),max

0.4 ppm

10 ppb

锂(Li),max

0.1 ppm

5 ppb

砷(As),max

0.5 ppm

10 ppb

镁(Mg),max

0.05 ppm

10 ppb

硼(B),max

0.4 ppm

10 ppb

锰(Mn),max

0.05 ppm

10 ppb

钡(Ba),max

0.1 ppm

10 ppb

钠(Na),max

0.5 ppm

20 ppb

铍(Be),max

0.2 ppm

5 ppb

镍(Ni),max

0.4 ppm

20 ppb

铋(Bi),max

0.2 ppm

5 ppb

铅(Pb),max

1 ppm

10 ppb

钙(Ca),max

0.1 ppm

10 ppb

硒(Se),max

1 ppm

10 ppb

镉(Cd),max

0.1 ppm

10 ppb

硅(Si),max

1 ppm

20 ppb

钴(Co),max

0.1 ppm

10 ppb

锡(Sn),max

0.1 ppm

10 ppb

铬(Cr),max

0.1 ppm

20 ppb

碲(Te),max

0.1 ppm

10 ppb

铜(Cu),max

0.15 ppm

20 ppb

钛(Ti),max

0.1 ppm

50 ppb

铁(Fe),max

0.1 ppm

50 ppb

钒(V),max

0.2 ppm

50 ppb

镓(Ga),max

0.2 ppm

50 ppb

锌(Zn),max

0.2 ppm

50 ppb

锗(Ge),max

0.1 ppm

50 ppb

锆(Zr),max

0.2 ppm

50 ppb

汞(Hg),max

0.1 ppm

10 ppb

有效期

36个月

36个月

钾(K),max

1  ppm

10 ppb

/

 

 

六、包装:

罐子: 材质:不锈钢316L ,罐内电解抛光。阀门类型:四分之一英寸隔膜阀。

阀门:主体材料:不锈钢316L。连接尺寸:四分之一英寸VCR。

规格:14.2kg、72kg、300kg                                

 

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