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电子级亚磷酸三甲酯(TMP)
产品描述
参数
一、分子式:P(OCH3)3
二、分子量:124.08
三、理化性质
无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/mL。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标 |
技术指标 |
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8.5N |
9N |
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纯度，min |
99.9999995% |
99.9999999% |
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B ，max |
50 ppb |
50 ppb |
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Cl-，max |
50 ppb |
50 ppb |
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水分，max |
25 ppm |
25 ppm |
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颗粒数≥0.2µm，max |
10 p/ml |
10 p/ml |
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颗粒数≥0.3µm，max |
7 p/ml |
7 p/ml |
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颗粒数≥0.5µm，max |
5 p/ml |
5 p/ml |
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颗粒数≥1.0µm，max |
1 p/ml |
1 p/ml |
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主含量，min |
99.99% |
99.99% |
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色度，max |
5APHA |
5APHA |
六、包装
容器：不锈钢瓶
外包装：不锈钢箱柜
规格： 1.5L、2加仑、5加仑（19L）、10加仑。
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