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电子级亚磷酸三甲酯(TMP)

产品描述
参数

一、分子式:P(OCH3)3

二、分子量:124.08

三、理化性质

无色液体,有刺激性臭味,熔点-78℃,沸点111~112℃,密度1.05g/mL。易燃,不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

五、质量指标

分析项目

技术指标

技术指标

8.5N

9N

纯度,min

99.9999995%

99.9999999%

B ,max

50  ppb

50  ppb

Cl-,max

50  ppb

50  ppb

水分,max

 25  ppm

 25  ppm

颗粒数≥0.2µm,max

10 p/ml

10 p/ml

颗粒数≥0.3µm,max

7 p/ml

7 p/ml

颗粒数≥0.5µm,max

5 p/ml

5 p/ml

颗粒数≥1.0µm,max

1 p/ml

1 p/ml

主含量,min

99.99%

99.99%

色度,max

5APHA

5APHA

 

 

六、包装

容器:不锈钢瓶

外包装:不锈钢箱柜

规格: 1.5L、2加仑、5加仑(19L)、10加仑。

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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