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硼磷硅玻璃材料

产品描述
参数

BPSG材料是有机磷、硼化合物,包括:

TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO

性质:均为无色有刺激性气味的液体。

应用:用于晶圆制造过程中与TEOS混合,通过CVD工艺沉积:PSG(磷玻璃)及BPSG(硼磷硅玻璃)。

  

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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