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硼磷硅玻璃材料
产品描述
参数
BPSG材料是有机磷、硼化合物,包括:
TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO
性质:均为无色有刺激性气味的液体。
应用:用于晶圆制造过程中与TEOS混合,通过CVD工艺沉积:PSG(磷玻璃)及BPSG(硼磷硅玻璃)。
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