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正硅酸四乙酯(TEOS)

产品描述
参数

一、分子式:Si(C2H5O)4

二、分子量:208.33

三、理化性质

无色透明液体,熔点-77℃,沸点169℃,密度0.9346g/mL。它对空气较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。

五、质量指标

分析项目

技术指标

技术指标

8N

9N

纯度,min

99.999999%

99.9999999%

主含量,min

99.99%

99.99%

硼,max

0.5 ppb

0.5 ppb

Cl-,max

0.5 ppm

0.05 ppm

水分,max

5 ppm

5 ppm

乙醇含量,max

3 ppm

3 ppm

颗粒数≥0.1µm,max

50 p/ml

50 p/ml

颗粒数≥0.2µm,max

30 p/ml

10 p/ml

颗粒数≥0.3µm,max

20 p/ml

7 p/ml

颗粒数≥0.5µm,max

10 p/ml

5 p/ml

颗粒数≥1.0µm,max

3 p/ml

1 p/ml

色度,max

10 APHA

10 APHA

 

六、包装

容器:不锈钢瓶

外包装:不锈钢箱柜

规格:2加仑、5加仑(19L)、10加仑、1.5L、3.0L、200L。

 

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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