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正硅酸四乙酯(TEOS)
一、分子式：Si(C2H5O)4
二、分子量：208.33
三、理化性质
无色透明液体，熔点－77℃，沸点169℃，密度0.9346g/mL。它对空气较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。
五、质量指标
分析项目 |
技术指标 |
技术指标 |
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8N |
9N |
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纯度，min |
99.999999% |
99.9999999% |
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主含量，min |
99.99% |
99.99% |
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硼，max |
0.5 ppb |
0.5 ppb |
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Cl-，max |
0.5 ppm |
0.05 ppm |
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水分，max |
5 ppm |
5 ppm |
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乙醇含量，max |
3 ppm |
3 ppm |
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颗粒数≥0.1µm，max |
50 p/ml |
50 p/ml |
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颗粒数≥0.2µm，max |
30 p/ml |
10 p/ml |
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颗粒数≥0.3µm，max |
20 p/ml |
7 p/ml |
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颗粒数≥0.5µm，max |
10 p/ml |
5 p/ml |
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颗粒数≥1.0µm，max |
3 p/ml |
1 p/ml |
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色度，max |
10 APHA |
10 APHA |
六、包装
容器：不锈钢瓶
外包装：不锈钢箱柜
规格：2加仑、5加仑（19L）、10加仑、1.5L、3.0L、200L。
