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电子级反式-1,2-二氯乙烯(DCE)

产品描述
参数

一、分子式:C2H2Cl2

二、分子量:96.94

三、理化性质

无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.256g/mL。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。

四、用途

高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃