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电子级反式-1,2-二氯乙烯(DCE)

产品描述
参数

一、分子式:C2H2Cl2

二、分子量:96.94

三、理化性质

无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.256g/mL。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。

四、用途

高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时,反式-1,2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走,达到清洗管道的目的。

五、质量指标

分析项目

技术指标

7.5N

纯度,min

99.999995%

Si,max

0.3 ppb

B,max

0.3 ppb

P,max

0.3 ppb

酸度,max

0.38 ppm

水分,max

12.85 ppm

主含量,min

99.97%

颗粒数≥0.1μm,max

0.97 p/ml

颗粒数≥0.2μm,max

0.3 p/ml

颗粒数≥0.5μm,max

0.3 p/ml

色度,max

10APHA

 

 

六、包装

容器:镀膜高纯石英源瓶

外包装:容器外套厚质PVC胶袋,PE专用箱内置缓冲海绵、PVC内筒承装源瓶,外套铁桶

规格:500ml、1000ml、1500ml、19L

 

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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