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电子级磷酸三甲酯(TMPO)
产品描述
参数
一、分子式:PO(OCH3)3
二、分子量:140.08
三、理化性质
无色液体,有水果味,熔点-46℃,沸点197℃,密度1.20g/mL。易溶于水和乙醚,难溶于乙醇。遇明火、高热可燃,遇热分解产生氧化磷有毒烟雾,遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 |
技术指标 |
纯度,min |
99.9999995%(8.5N) |
氯化物,max |
50 ppb |
水分,max |
20 ppm |
颗粒数≥0.3µm,max |
7 p/ml |
颗粒数≥0.5µm,max |
5 p/ml |
主含量,min |
99.99% |
色度,max |
5APHA |
六、包装
容器:不锈钢瓶
外包装:不锈钢箱柜
规格:5加仑(19L)
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