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电子级磷酸三甲酯(TMPO)

产品描述
参数

一、分子式:PO(OCH3)3

二、分子量:140.08

三、理化性质

无色液体,有水果味,熔点-46℃,沸点197℃,密度1.20g/mL。易溶于水和乙醚,难溶于乙醇。遇明火、高热可燃,遇热分解产生氧化磷有毒烟雾,遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

 

五、质量指标

 

分析项目

技术指标

纯度,min

99.9999995%(8.5N)

氯化物,max

50 ppb

 水分,max

 20  ppm

颗粒数≥0.3µm,max

7  p/ml

颗粒数≥0.5µm,max

5  p/ml

主含量,min

99.99%

色度,max

5APHA

 

 

六、包装

容器:不锈钢瓶            

外包装:不锈钢箱柜

规格:5加仑(19L)

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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