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电子级磷酸三乙酯( TEPO )
产品描述
参数
一、分子式:PO(OC2H5)3
二、分子量:182.15
三、理化性质
无色透明液体。易溶于乙醇,溶于乙醚、苯等有机溶剂,也溶于水。熔点-56.4℃,沸点215℃,密度1.07 g/mL。正常状况下稳定,遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。
四、用途
晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 |
技术指标 |
纯度,min |
99.9999995%(8.5N) |
B,max |
0.5 ppb |
Cl-,max |
50 ppb |
主含量,min |
99.99% |
水分,max |
20 ppm |
色度,max |
5 APHA |
颗粒数≥0.2µm,max |
10 p/ml |
颗粒数≥0.3µm,max |
7 p/ml |
颗粒数≥0.5µm,max |
5 p/ml |
颗粒数≥1.0µm,max |
1 p/ml |
六、包装
容器:不锈钢瓶
外包装:不锈钢箱柜
规格:5加仑(19L)
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