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电子级磷酸三乙酯( TEPO )

产品描述
参数

一、分子式:PO(OC2H5)3

二、分子量:182.15

三、理化性质

无色透明液体。易溶于乙醇,溶于乙醚、苯等有机溶剂,也溶于水。熔点-56.4℃,沸点215℃,密度1.07 g/mL。正常状况下稳定,遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。

四、用途

晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

 

五、质量指标

 

分析项目

技术指标

纯度,min

99.9999995%(8.5N)

B,max

0.5 ppb

Cl-,max

50 ppb

主含量,min

99.99%

水分,max

20 ppm

色度,max

5 APHA

颗粒数≥0.2µm,max

10  p/ml

颗粒数≥0.3µm,max

7  p/ml

颗粒数≥0.5µm,max

5  p/ml

颗粒数≥1.0µm,max

1  p/ml

 

六、包装

容器:不锈钢瓶           

外包装:不锈钢箱柜

规格:5加仑(19L)

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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