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电子级磷酸三乙酯( TEPO )
产品描述
参数
一、分子式：PO(OC2H5)3
二、分子量：182.15
三、理化性质
无色透明液体。易溶于乙醇，溶于乙醚、苯等有机溶剂，也溶于水。熔点-56.4℃，沸点215℃，密度1.07 g/mL。正常状况下稳定，遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。
四、用途
晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标 |
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纯度，min |
99.9999995%（8.5N） |
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B，max |
0.5 ppb |
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Cl-，max |
50 ppb |
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主含量，min |
99.99% |
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水分，max |
20 ppm |
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色度，max |
5 APHA |
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颗粒数≥0.2µm，max |
10 p/ml |
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颗粒数≥0.3µm，max |
7 p/ml |
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颗粒数≥0.5µm，max |
5 p/ml |
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颗粒数≥1.0µm，max |
1 p/ml |
六、包装
容器：不锈钢瓶
外包装：不锈钢箱柜
规格：5加仑（19L）
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