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电子级硼酸三甲酯(TMB)

产品描述
参数

一、分子式:B(OCH3)3

二、分子量:103.92

三、理化性质

无色液体,无明显气味,性质稳定。熔点-29℃,密度0.915g/mL,沸点67~68℃。易燃,与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸,能与有机溶剂混溶。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积(CVD)生成硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

五、质量指标

分析项目

技术指标

8.5N

纯度,min

99.9999995%

Cl- ,max

50 ppb

水分 ,max

20 ppm

颗粒数≥0.2µm,max

10  p/ml

颗粒数≥0.3µm,max

7  p/ml

颗粒数≥0.5µm,max

5  p/ml

颗粒数≥1.0µm,max

1  p/ml

主含量,min

99.99 %

色度,max

5APHA

 

 

六、包装

容器:不锈钢瓶

外包装:不锈钢箱柜

规格:1.5L、2加仑、5加仑(19L)、10加仑。

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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