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电子级硼酸三甲酯(TMB)
产品描述
参数
一、分子式:B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/mL，沸点67～68℃。易燃，与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标 |
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8.5N |
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纯度，min |
99.9999995% |
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Cl- ，max |
50 ppb |
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水分 ，max |
20 ppm |
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颗粒数≥0.2µm，max |
10 p/ml |
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颗粒数≥0.3µm，max |
7 p/ml |
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颗粒数≥0.5µm，max |
5 p/ml |
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颗粒数≥1.0µm，max |
1 p/ml |
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主含量，min |
99.99 % |
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色度，max |
5APHA |
六、包装
容器：不锈钢瓶
外包装：不锈钢箱柜
规格：1.5L、2加仑、5加仑（19L）、10加仑。
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