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电子级硼酸三乙酯( TEB )
产品描述
参数
一、分子式：B(OC2H5)3
二、分子量：145.99
三、理化性质
无色透明液体,有轻度气味,有显著的热稳定性。密度0.86 g/mL，熔点-84.8℃，沸点118℃。易吸湿，遇水易分解成乙醇和硼酸。易燃。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成硼磷硅玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标 |
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氯化物，max |
50 ppb |
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水分，max |
20 ppm |
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颗粒数≥0.2µm，max |
10 p/ml |
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颗粒数≥0.3µm，max |
7 p/ml |
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颗粒数≥0.5µm，max |
5 p/ml |
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颗粒数≥1.0µm，max |
1 p/ml |
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主含量，min |
99.99% |
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色度，max |
5 APHA |
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纯度，min |
99.9999995%（8.5N） |
六、包装
容器：不锈钢桶
外包装：不锈钢箱柜
规格： 5加仑（19L）
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