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电子级硼酸三乙酯( TEB )

产品描述
参数

一、分子式:B(OC2H5)3

二、分子量:145.99

三、理化性质

无色透明液体,有轻度气味,有显著的热稳定性。密度0.86 g/mL,熔点-84.8℃,沸点118℃。易吸湿,遇水易分解成乙醇和硼酸。易燃。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中沉积生成硼磷硅玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。

 

五、质量指标

 

分析项目

技术指标

氯化物,max

50 ppb

 水分,max

 20 ppm

颗粒数≥0.2µm,max

10  p/ml

颗粒数≥0.3µm,max

7  p/ml

颗粒数≥0.5µm,max

5  p/ml

颗粒数≥1.0µm,max

1  p/ml

主含量,min

99.99%

色度,max

5 APHA

纯度,min

99.9999995%(8.5N)

 

 

六、包装

容器:不锈钢桶

外包装:不锈钢箱柜

规格: 5加仑(19L)

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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