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电子级三甲基铝(TMA)

产品描述
参数

电子级三甲基铝(TMA)

一、分子式: Al(CH3)3

二、分子量: 72.09

三、理化性质:

无色透明液体,熔点15C,沸点127C,密度0.74g/ml。在空气中瞬间就能着火自燃,与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。

四、用途:

在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O:钝化膜;在半导体制造,用于沉积High- k材料介质薄膜,如Al2Os;同时,TMA还是有机金属化学气相沉积法( MOCVD )制造含铝半导体(如AIAs,AIN, AIP, AlSb, AlGaAs,AlInGaAs, AllInGaP, AIGaN,AllnGaN, AllnGaNP等)中有机金属的重要来源。

五、质量指标:

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六、包装

罐子:材质:不锈钢316L,罐内电解抛光。阀门类型:四分之一英寸隔膜阀。

阀门:主体材料:不锈钢316L。连接尺寸:四分之一英寸VCR。

规格: 7kg,14kg,25kg,70kg,300kg

 

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贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司
Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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