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电子级三氯氧磷

产品描述
参数

一、分子式:POCl3

二、分子量:153.33

三、理化性质

无色透明挥发性液体,具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为105.1℃,密度为1.675 g/mL。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。

四、用途

主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。

五、质量指标

分析项目

技术指标

分析项目

技术指标

6N

7N

 

6N

7N

 

Al,max

40 ppb

5 ppb

Li,max

10 ppb

6 ppb

As,max

30 ppb

6 ppb

Mg,max

20 ppb

5 ppb

Ag,max

1 ppb

1 ppb

Mn,max

30 ppb

1 ppb

Au,max

1 ppb

1 ppb

Na,max

10 ppb

5 ppb

Ba,max

20 ppb

1 ppb

Nb, max

2 ppb

1 ppb

Bi,max

10 ppb

1 ppb

Ni,max

20 ppb

1 ppb

Ca,max

30 ppb

5 ppb

Pb,max

10 ppb

3 ppb

Co,max

20 ppb

1 ppb

Sn,max

5 ppb

1 ppb

Cu,max

20 ppb

2 ppb

Sr,max

5 ppb

1 ppb

Cr,max

20 ppb

1 ppb

Ti,max

5 ppb

2 ppb

Fe,max

40 ppb

5 ppb

Zn,max

5 ppb

1 ppb

Ga,max

1 ppb

1 ppb

主含量,min

99.9%

99.9%

Hg,max

10 ppb

5 ppb

色度,max

5APHA

5APHA

K,max

30 ppb

3 ppb

颗粒数≥0.3μm,max

50p/ml

50p/ml

 

 

六、包装

容器:高纯石英源瓶、镀膜高纯石英源瓶

外包装:容器外套厚质PVC塑料袋;PE专用箱内置海绵缓冲垫

规格:500ml、1000ml、1500ml,4.5L,5L也可根据客户的要求进行包装

 

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Guizhou Wylton Jinglin Electronic Material Co., Ltd.

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