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电子级三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.33
三、理化性质
无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为105.1℃，密度为1.675 g/mL。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途
主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
五、质量指标
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分析项目 |
技术指标 |
分析项目 |
技术指标 |
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6N |
7N
|
6N |
7N
|
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Al，max |
40 ppb |
5 ppb |
Li，max |
10 ppb |
6 ppb |
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As，max |
30 ppb |
6 ppb |
Mg，max |
20 ppb |
5 ppb |
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Ag，max |
1 ppb |
1 ppb |
Mn，max |
30 ppb |
1 ppb |
|
Au，max |
1 ppb |
1 ppb |
Na，max |
10 ppb |
5 ppb |
|
Ba，max |
20 ppb |
1 ppb |
Nb, max |
2 ppb |
1 ppb |
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Bi，max |
10 ppb |
1 ppb |
Ni，max |
20 ppb |
1 ppb |
|
Ca，max |
30 ppb |
5 ppb |
Pb，max |
10 ppb |
3 ppb |
|
Co，max |
20 ppb |
1 ppb |
Sn，max |
5 ppb |
1 ppb |
|
Cu，max |
20 ppb |
2 ppb |
Sr，max |
5 ppb |
1 ppb |
|
Cr，max |
20 ppb |
1 ppb |
Ti，max |
5 ppb |
2 ppb |
|
Fe，max |
40 ppb |
5 ppb |
Zn，max |
5 ppb |
1 ppb |
|
Ga，max |
1 ppb |
1 ppb |
主含量，min |
99.9% |
99.9% |
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Hg，max |
10 ppb |
5 ppb |
色度，max |
5APHA |
5APHA |
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K，max |
30 ppb |
3 ppb |
颗粒数≥0.3μm，max |
50p/ml |
50p/ml |
六、包装
容器：高纯石英源瓶、镀膜高纯石英源瓶
外包装：容器外套厚质PVC塑料袋；PE专用箱内置海绵缓冲垫
规格：500ml、1000ml、1500ml，4.5L，5L也可根据客户的要求进行包装
