电子级三甲基铝(TMA)

产品编号：

1283024914566762496

所属分类：

前驱体

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电子级三甲基铝(TMA)

一、分子式: Al(CH₃)₃

二、分子量: 72.09

三、理化性质:

无色透明液体，熔点15C，沸点127C，密度0.74g/ml。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。

四、用途:

在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O:钝化膜;在半导体制造，用于沉积High- k材料介质薄膜，如Al2Os;同时，TMA还是有机金属化学气相沉积法( MOCVD )制造含铝半导体(如AIAs，AIN, AIP, AlSb, AlGaAs，AlInGaAs, AllInGaP， AIGaN,AllnGaN, AllnGaNP等)中有机金属的重要来源。

五、质量指标:

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