电子级三甲基铝(TMA)

无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.752g/mL。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。

产品编号：

所属分类：

前驱体

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详情介绍

一、分子式：Al(CH₃)₃

二、分子量：72.09

三、理化性质：

四、用途:

在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al₂O₃钝化膜；在半导体制造，用于沉积High-k材料介质薄膜，如Al₂O₃；同时，TMA还是有机金属化学气相沉积法（MOCVD）制造含铝半导体（如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等）中有机金属的重要来源。

五、质量指标：

分析项目	技术指标		分析项目	技术指标
分析项目	5N	6N	分析项目	5N	6N
银（Ag），max	0.4 ppm	10 ppb	锂（Li），max	0.1 ppm	5 ppb
砷（As），max	0.5 ppm	10 ppb	镁（Mg），max	0.05 ppm	10 ppb
硼（B），max	0.4 ppm	10 ppb	锰（Mn），max	0.05 ppm	10 ppb
钡（Ba），max	0.1 ppm	10 ppb	钠（Na），max	0.5 ppm	20 ppb
铍（Be），max	0.2 ppm	5 ppb	镍（Ni），max	0.4 ppm	20 ppb
铋（Bi），max	0.2 ppm	5 ppb	铅（Pb），max	1 ppm	10 ppb
钙（Ca），max	0.1 ppm	10 ppb	硒（Se），max	1 ppm	10 ppb
镉（Cd），max	0.1 ppm	10 ppb	硅（Si），max	1 ppm	20 ppb
钴（Co），max	0.1 ppm	10 ppb	锡（Sn），max	0.1 ppm	10 ppb
铬（Cr），max	0.1 ppm	20 ppb	碲（Te），max	0.1 ppm	10 ppb
铜（Cu），max	0.15 ppm	20 ppb	钛（Ti），max	0.1 ppm	50 ppb
铁（Fe），max	0.1 ppm	50 ppb	钒（V），max	0.2 ppm	50 ppb
镓（Ga），max	0.2 ppm	50 ppb	锌（Zn），max	0.2 ppm	50 ppb
锗（Ge），max	0.1 ppm	50 ppb	锆（Zr），max	0.2 ppm	50 ppb
汞（Hg），max	0.1 ppm	10 ppb	有效期	36个月	36个月
钾（K），max	1 ppm	10 ppb	/