硼磷硅玻璃材料
BPSG材料是有机磷、硼化合物,包括:TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO性质:均为无色有刺激性气味的液体。应用:用于晶圆制造过程中与TEOS混合,通过CVD工艺沉积:PSG(磷玻璃)及BPSG(硼磷硅玻璃)。
产品编号:
所属分类:
关键词:
咨询热线:
详情介绍
BPSG材料是有机磷、硼化合物,包括:
TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO
性质:均为无色有刺激性气味的液体。
应用:用于晶圆制造过程中与TEOS混合,通过CVD工艺沉积:PSG(磷玻璃)及BPSG(硼磷硅玻璃)。
更多产品
意向咨询