电子级亚磷酸三甲酯(TMP)
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
产品编号:
所属分类:
关键词:
咨询热线:
详情介绍
一、分子式:P(OCH3)3
二、分子量:124.08
三、理化性质
无色液体,有刺激性臭味,熔点-78℃,沸点111~112℃,密度1.05g/mL。易燃,不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 |
技术指标 |
技术指标 |
8.5N |
9N |
|
纯度,min |
99.9999995% |
99.9999999% |
B ,max |
50 ppb |
50 ppb |
Cl-,max |
50 ppb |
50 ppb |
水分,max |
25 ppm |
25 ppm |
颗粒数≥0.2µm,max |
10 p/ml |
10 p/ml |
颗粒数≥0.3µm,max |
7 p/ml |
7 p/ml |
颗粒数≥0.5µm,max |
5 p/ml |
5 p/ml |
颗粒数≥1.0µm,max |
1 p/ml |
1 p/ml |
主含量,min |
99.99% |
99.99% |
色度,max |
5APHA |
5APHA |
六、包装
容器:不锈钢瓶
外包装:不锈钢箱柜
规格: 1.5L、2加仑、5加仑(19L)、10加仑。
更多产品
意向咨询