正硅酸乙酯(TEOS)
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。
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详情介绍
一、分子式:Si(C2H5O)4
二、分子量:208.33
三、理化性质
无色透明液体,熔点-77℃,沸点169℃,密度0.9346g/mL。它对空气较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。
五、质量指标
分析项目 |
技术指标 |
技术指标 |
8N |
9N |
|
纯度,min |
99.999999% |
99.9999999% |
主含量,min |
99.99% |
99.99% |
硼,max |
0.5 ppb |
0.5 ppb |
Cl-,max |
0.5 ppm |
0.05 ppm |
水分,max |
5 ppm |
5 ppm |
乙醇含量,max |
3 ppm |
3 ppm |
颗粒数≥0.1µm,max |
50 p/ml |
50 p/ml |
颗粒数≥0.2µm,max |
30 p/ml |
10 p/ml |
颗粒数≥0.3µm,max |
20 p/ml |
7 p/ml |
颗粒数≥0.5µm,max |
10 p/ml |
5 p/ml |
颗粒数≥1.0µm,max |
3 p/ml |
1 p/ml |
色度,max |
10 APHA |
10 APHA |
六、包装
容器:不锈钢瓶
外包装:不锈钢箱柜
规格:2加仑、5加仑(19L)、10加仑、1.5L、3.0L、200L。
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