电子级磷酸三乙酯( TEPO )
晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
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详情介绍
一、分子式:PO(OC2H5)3
二、分子量:182.15
三、理化性质
无色透明液体。易溶于乙醇,溶于乙醚、苯等有机溶剂,也溶于水。熔点-56.4℃,沸点215℃,密度1.07 g/mL。正常状况下稳定,遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。
四、用途
晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 | 技术指标 |
纯度,min | 99.9999995%(8.5N) |
B,max | 0.5 ppb |
Cl-,max | 50 ppb |
主含量,min | 99.99% |
水分,max | 20 ppm |
色度,max | 5 APHA |
颗粒数≥0.2µm,max | 10 p/ml |
颗粒数≥0.3µm,max | 7 p/ml |
颗粒数≥0.5µm,max | 5 p/ml |
颗粒数≥1.0µm,max | 1 p/ml |
六、包装
容器:不锈钢瓶
外包装:不锈钢箱柜
规格:5加仑(19L)
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