详情介绍
一、分子式:B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体,无明显气味,性质稳定。熔点-29℃,密度0.915g/mL,沸点67~68℃。易燃,与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸,能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积(CVD)生成硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 | 技术指标 |
8.5N | |
纯度,min | 99.9999995% |
Cl- ,max | 50 ppb |
水分 ,max | 20 ppm |
颗粒数≥0.2µm,max | 10 p/ml |
颗粒数≥0.3µm,max | 7 p/ml |
颗粒数≥0.5µm,max | 5 p/ml |
颗粒数≥1.0µm,max | 1 p/ml |
主含量,min | 99.99 % |
色度,max | 5APHA |
六、包装
容器:不锈钢瓶
外包装:不锈钢箱柜
规格:1.5L、2加仑、5加仑(19L)、10加仑。
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