电子级反式-1，2-二氯乙烯(DCE)

高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时，反式-1，2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走，达到清洗管道的目的。

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所属分类：

特种气体

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详情介绍

一、分子式:C₂H₂Cl₂

二、分子量:96.94

三、理化性质

无色略带刺激气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.256g/mL。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。

四、用途

高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时，反式-1，2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO₂等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走，达到清洗管道的目的。

五、质量指标

分析项目	技术指标
分析项目	7.5N
纯度，min	99.999995%
Si，max	0.3 ppb
B，max	0.3 ppb
P，max	0.3 ppb
酸度，max	0.38 ppm
水分，max	12.85 ppm
主含量，min	99.97%
颗粒数≥0.1μm，max	0.97 p/ml
颗粒数≥0.2μm，max	0.3 p/ml
颗粒数≥0.5μm，max	0.3 p/ml
色度，max	10APHA