详情介绍
一、分子式:C2H2Cl2
二、分子量:96.94
三、理化性质
无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.256g/mL。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
四、用途
高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时,反式-1,2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走,达到清洗管道的目的。
五、质量指标
分析项目 | 技术指标 |
7.5N | |
纯度,min | 99.999995% |
Si,max | 0.3 ppb |
B,max | 0.3 ppb |
P,max | 0.3 ppb |
酸度,max | 0.38 ppm |
水分,max | 12.85 ppm |
主含量,min | 99.97% |
颗粒数≥0.1μm,max | 0.97 p/ml |
颗粒数≥0.2μm,max | 0.3 p/ml |
颗粒数≥0.5μm,max | 0.3 p/ml |
色度,max | 10APHA |
六、包装
容器:镀膜高纯石英源瓶
外包装:容器外套厚质PVC胶袋,PE专用箱内置缓冲海绵、PVC内筒承装源瓶,外套铁桶
规格:500ml、1000ml、1500ml、19L
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