氯乙烯

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电子级反式-1，2-二氯乙烯(DCE)

电子级反式-1，2-二氯乙烯(DCE)

高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时，反式-1，2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCl与金属原子反应后被气体带走，达到清洗管道的目的。

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